Βασική εισαγωγή του αισθητήρα πίεσης MEMS
Ο αισθητήρας πίεσης MEMS είναι ένα στοιχείο λεπτού φιλμ που παραμορφώνεται όταν υποβάλλεται σε πίεση. Ο μετρητής καταπόνησης (piezoresistive sensing) μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη μέτρηση αυτής της παραμόρφωσης ή μπορεί να μετρηθεί με χωρητική ανίχνευση της μεταβολής της απόστασης μεταξύ των δύο επιφανειών. Αυτές οι δύο μέθοδοι είναι πολύ δημοφιλείς και το σύστημα παρακολούθησης πίεσης ελαστικών χρησιμοποιεί μια πιο ισχυρή piezoresistive μέθοδο.