Ταξινόμηση με απόθεση χημικών ατμών
Υπάρχουν πολλές μέθοδοι χημικής εναπόθεσης ατμών, όπως η ατμοσφαιρική πίεση CVD (APCVD), η χαμηλή πίεση CVD (LPCVD), η εξαιρετικά υψηλή πίεση CVD (UHVCVD), η εναπόθεση λέιζερ με χημικό ατμό με λέιζερ (LCVD) , ενισχυμένη με πλάσμα εναπόθεση χημικών ατμών (PECVD), κ.λπ.