Βασικές αρχές σάρωσης ηλεκτρονικού μικροσκοπίου
Η δέσμη ηλεκτρονίων που εκπέμπεται από το ηλεκτρονικό πυροβόλο όπλο ηλεκτρονίων ηλεκτρονίων ανίχνευσης εστιάζεται και συμπυκνώνεται σε μια πηγή φωτός σημείου η σημευόμενη φωτεινή πηγή σχηματίζει δέσμη ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας υπό επιταχυνόμενη τάση· η ακτίνα ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας εστιάζεται σε ένα ελαφρύ σημείο με μια μικρή διάμετρο μέσω δύο ηλεκτρομαγνητικών φακών, και περνά μέσω του τελευταίου Μετά από έναν ηλεκτρομαγνητικό φακό με μια σπείρα ανίχνευσης, η ακτίνα ηλεκτρονίων βομβαρδίζει το σημείο επιφάνειας δειγμάτων από το σημείο με έναν ράστερ-όπως τρόπο ανίχνευσης, και ενθουσιωδώς τα ηλεκτρονικά σήματα των διαφορετικών βάθη.