Χαρακτηριστικά γνωρίσματα του ηλεκτροσκοπίου ηλεκτρονίων ανίχνευσης
Αν και το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης είναι ένα ανερχόμενο αστέρι στην οικογένεια μικροσκοπίων, έχει αναπτυχθεί γρήγορα λόγω των πολλών μοναδικών πλεονεκτημάτων του.
1 Το όργανο έχει μια υψηλή ανάλυση, και η δευτεροβάθμια εικόνα ηλεκτρονίων μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να παρατηρήσει τις λεπτομέρειες της επιφάνειας δειγμάτων σε περίπου 6nm. Χρησιμοποιώντας το πυροβόλο όπλο ηλεκτρονίων LaB6, μπορεί να βελτιωθεί περαιτέρω σε 3nm.
2 Το εύρος μεγέθυνσης του οργάνου είναι μεγάλο και μπορεί να ρυθμιστεί συνεχώς. Ως εκ τούτου, μπορείτε να επιλέξετε διαφορετικά μεγέθη οπτικού πεδίου για παρατήρηση ανάλογα με τις ανάγκες σας. Ταυτόχρονα, μπορείτε να αποκτήσετε καθαρές εικόνες υψηλής φωτεινότητας που είναι δύσκολο να επιτευχθούν με συνηθισμένα ηλεκτρονικά μικροσκόπια μετάδοσης σε υψηλή μεγέθυνση.
3 Παρατηρήστε το βάθος του πεδίου του δείγματος, το οπτικό πεδίο είναι μεγάλο και η εικόνα είναι γεμάτη τρισδιάστατη αίσθηση. Μπορεί να παρατηρήσει άμεσα την τραχιά επιφάνεια με τις μεγάλες διακυμάνσεις και το ανώμαλο σπάσιμο μετάλλων του δείγματος, κ.λπ., δίνοντας στους ανθρώπους την αίσθηση της ύπαρξης στον κόσμο μικροϋπολογιστών.
4 Το παρασκεύασμα του δείγματος είναι απλό, εφόσον το δείγμα μπλοκ ή σκόνης υποβάλλεται σε επεξεργασία ή δεν υποβάλλεται σε επεξεργασία λίγο, μπορεί να παρατηρηθεί απευθείας στο ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης, έτσι ώστε να είναι πιο κοντά στη φυσική κατάσταση της ουσίας.
5Η ποιότητα της εικόνας μπορεί να ελεγχθεί και να βελτιωθεί αποτελεσματικά με ηλεκτρονικές μεθόδους, όπως η αυτόματη διατήρηση της φωτεινότητας και της αντίθεσης, η διόρθωση γωνίας κλίσης δείγματος, η περιστροφή της εικόνας ή το γεωγραφικό πλάτος της βελτίωσης της αντίθεσης της εικόνας μέσω της διαμόρφωσης Y και η φωτεινότητα κάθε τμήματος της εικόνας Μέτρια. Χρησιμοποιώντας συσκευές διπλής μεγέθυνσης ή επιλογείς εικόνας, οι εικόνες με διαφορετικές μεγεθύνσεις μπορούν να προβληθούν ταυτόχρονα στην οθόνη φθορισμού.
6 Είναι δυνατή η διεξοδική ανάλυση. Εξοπλισμένο με φασματόμετρο ακτίνων Χ διασποράς μήκους κύματος (WDX) ή φασματόμετρο ακτίνων Χ με διασπορά ενέργειας (EDX), έχει τη λειτουργία ηλεκτρονικού καθετήρα και μπορεί επίσης να ανιχνεύσει ανακλώμενα ηλεκτρόνια, ακτίνες Χ, φθορισμό καθόδων, μεταδιδόμενα ηλεκτρόνια και Ηλεκτρονικά Auger κ.λπ. Η επέκταση της εφαρμογής της σάρωσης της μικροσκοπίας ηλεκτρονίων σε διάφορες μικροσκοπικές και μικρο-περιοχές μεθόδους ανάλυσης δείχνει την ευελιξία της σάρωσης της μικροσκοπίας ηλεκτρονίων. Επιπλέον, είναι επίσης δυνατή η ανάλυση των προαιρετικών μικροπεριφέρειων του δείγματος, παρατηρώντας παράλληλα τη μορφολογική εικόνα. με την προσάρτηση του κατόχου του δείγματος ημιαγωγών, η σύνδεση PN και τα μικρο-ελαττώματα στο τρανζίστορ ή στο ολοκληρωμένο κύκλωμα μπορούν να παρατηρηθούν απευθείας μέσω του ενισχυτή ηλεκτροκινητικής εικόνας δύναμης. Δεδομένου ότι πολλοί ηλεκτρονικοί έλεγχοι SEM πραγματοποιούν τον ηλεκτρονικό αυτόματο και ημιαυτόματο έλεγχο υπολογιστών, η ταχύτητα της ποσοτικής ανάλυσης βελτιώνεται πολύ.